Energy-dispersive X-ray spectroscopy (EDS, EDX, or XEDS), sometimes called energy dispersive X-ray analysis (EDXA) or energy dispersive X-ray microanalysis (EDXMA), is an analytical technique used for the elemental analysis or chemical characterization of a sample. It relies on an interaction of some source of X-ray excitation and a sample.
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To stimulate the emission of characteristic X-rays from a specimen, a high-energy beam of charged particles such as electrons or protons (see PIXE), or a beam of X-rays, is focused into the sample being studied. At rest, an atom within the sample contains ground state (or unexcited) electrons in discrete energy levels or electron shells bound to the nucleus. The incident beam may excite an electron in an inner shell, ejecting it from the shell while creating an electron hole where the electron was. An electron from an outer, higher-energy shell then fills the hole, and the difference in energy between the higher-energy shell and the lower energy shell may be released in the form of an X-ray. The number and energy of the X-rays emitted from a specimen can be measured by an energy-dispersive spectrometer. As the energies of the X-rays are characteristic of the difference in energy between the two shells and of the atomic structure of the emitting element, EDS allows the elemental composition of the specimen to be measured.
://en.m.wikipedia.org/wiki/Energy-dispersive_X-ray_spectroscopy


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Note added at 11 hrs (2017-01-01 23:13:19 GMT)
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Zur Wechselwirkung zwischen Materie und Röntgenstrahlen noch ein weiteres Zitat aus Wikipedia, diesmal auf Deutsch :

Der Brechungsindex von Materie für Röntgenstrahlung weicht nur wenig von 1 ab. Das hat zur Folge, dass eine einzelne Röntgenlinse lediglich schwach fokussiert oder defokussiert und man für einen stärkeren Effekt Linsenstapel benötigt. Des Weiteren werden Röntgenstrahlen bei nichtstreifenden Einfall kaum reflektiert. Trotzdem hat man in der Röntgenoptik Wege gefunden, optische Bauelemente für Röntgenstrahlen zu entwickeln.

Röntgenstrahlung kann Materie durchdringen. Sie wird dabei je nach Stoffart unterschiedlich stark geschwächt. Die Schwächung der Röntgenstrahlen ist der wichtigste Faktor bei der radiologischen Bilderzeugung. Die Intensität des Röntgenstrahls nimmt nach dem Lambert-Beerschen Gesetz mit der im Material zurückgelegten Weglänge {\displaystyle d} d exponentiell ab ( {\displaystyle I=I_{0}\cdot e^{-kd}} I = I_0 \cdot e^{-kd}), der Koeffizient {\displaystyle k} k ist dabei materialabhängig und etwa proportional zu {\displaystyle Z^{4}\lambda ^{3}} Z^4 \lambda^3 ( {\displaystyle Z} Z: Ordnungszahl, {\displaystyle \lambda } \lambda : Wellenlänge).

Die Absorption erfolgt durch Photoabsorption, Compton-Streuung und, bei hohen Photonenenergien, Paarbildung.

Bei der Photoabsorption schlägt das Photon ein Elektron aus der Elektronenhülle eines Atoms. Dafür ist je nach Elektronenschale eine bestimmte Mindestenergie notwendig. Die Wahrscheinlichkeit dieses Prozesses als Funktion der Photonenenergie steigt bei Erreichen der Mindestenergie abrupt auf einen hohen Wert an (Absorptionskante) und nimmt zu höheren Photonenenergien dann wieder kontinuierlich ab, bis zur nächsten Absorptionskante. Das "Loch" in der Elektronenhülle wird durch ein Elektron aus einer höheren Schale wieder aufgefüllt. Dabei entsteht niederenergetische Fluoreszenzstrahlung.
Außer an stark gebundenen Elektronen wie bei der Photoabsorption kann ein Röntgen-Photon auch an ungebundenen oder schwach gebundenen Elektronen gestreut werden. Diesen Prozess nennt man Compton-Streuung. Die Photonen erfahren durch die Streuung eine vom Streuwinkel abhängige Verlängerung der Wellenlänge um einen festen Betrag und damit einen Energieverlust. Im Verhältnis zur Photoabsorption tritt die Compton-Streuung erst bei hohen Photonenenergien und vor allem bei leichten Atomen in den Vordergrund.
Photoabsorption und Compton-Streuung sind inelastische Prozesse, bei denen das Photon Energie verliert und schließlich absorbiert wird. Daneben ist auch elastische Streuung (Thomson-Streuung, Rayleigh-Streuung) möglich. Dabei bleibt das gestreute Photon kohärent zum einfallenden und behält seine Energie.

Bei Energien oberhalb 2 mec2 ≈ 1,022 MeV tritt außerdem Elektron-Positron-Paarbildung auf. Sie ist – abhängig vom Material – ab etwa 5 MeV der dominierende Absorptionsprozess.
https://de.m.wikipedia.org/wiki/Röntgenstrahlung